A study on sub-nanometer positioning by using ball screw drive

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Other Title
  • ボールねじ駆動によるサブナノメートル位置決めの研究

Abstract

位置決め用送りねじにはボールねじを用いる場合が現状では多く，ボールねじ駆動による位置決め性能の向上が求められている．本報では，分解能70pmのリニアエンコーダとボールねじおよびエアスライドを用いた位置決めシステムを構成し，サブナノメートルレベルにおけるボールねじの挙動と位置決め性能を実験により明らかにしている．ボールねじの非線形ばね特性に対応したゲインスケジューリングを導入し高精度化を実現している．

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1390282680633591296
  • NII Article ID
    130005032010
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2013s.0.813.0
  • Text Lang
    ja
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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