減圧熱CVD法により作製した酸化亜鉛と二酸化スズ薄膜の電気特性

• 今 大輔

  東海大院工

• 羽柴 和人

  東海大院工

• 秋山 泰伸

  東海大院工

収録刊行物

• 化学工学会　研究発表講演要旨集

  化学工学会　研究発表講演要旨集 2010f (0), 546-546, 2010

  公益社団法人 化学工学会

キーワード

• LPCVD
• Zinc oxide
• Tin oxide

詳細情報

• CRID: 1390001205685133312
• NII論文ID: 130005043001
• DOI: 10.11491/scej.2010f.0.546.0
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles