【知的ナノ計測専門委員会】ものづくり基盤の進化からイノベーションの創出を担う知的ナノ計測

• 高谷 裕浩

  大阪大学大学院工学研究科

書誌事項

タイトル別名

• Intelligent Nano-measurement as a Driving Force of Metrology and Innovation
• 知的ナノ計測専門委員会 ものづくり基盤の進化からイノベーションの創出を担う知的ナノ計測
• チテキ ナノ ケイソク センモン イインカイ モノ ズクリ キバン ノ シンカ カラ イノベーション ノ ソウシュツ オ ニナウ チテキ ナノ ケイソク

収録刊行物

• 精密工学会誌

  精密工学会誌 81 (10), 911-914, 2015

  公益社団法人 精密工学会

キーワード

• intelligent nano-measurement
• metrology
• traceability
• optical comb
• areal topography
• optical measurement

詳細情報

• CRID: 1390001204828440576
• NII論文ID: 130005100536
• NII書誌ID: AN1003250X
• DOI: 10.2493/jjspe.81.911
• ISSN: 1882675X
• ISSN: 09120289
• NDL書誌ID: 026801558
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I026801558
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/jjspe/81/10/81_911/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles