硫酸銅浴からの銅電析におけるSPSおよびMPS反応機構解析

• 高橋 夏樹

  関東学院大学 大学院工学研究科

• 山下 嗣人

  関東学院大学 大学院工学研究科 関東学院大学 材料・表面工学研究所

書誌事項

タイトル別名

• Analysis of Reaction Mechanism of SPS and MPS on the Copper Electro-Deposition
• リュウサン ドウヨク カラ ノ ドウデンセキ ニ オケル SPS オヨビ MPS ハンノウ キコウ カイセキ

収録刊行物

• 表面技術

  表面技術 66 (1), 20-22, 2015

  一般社団法人 表面技術協会

キーワード

• Copper Electro-Deposition
• 1,2,3-Benzotriazole
• SECM

詳細情報

• CRID: 1390282679094404096
• NII論文ID: 130005115785
• NII書誌ID: AN1005202X
• DOI: 10.4139/sfj.66.20
• ISSN: 18843409
• ISSN: 09151869
• NDL書誌ID: 026004563
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I026004563
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/sfj/66/1/66_20/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles