プラズマエッチングによるマイクロ流体チップ用チタン製微細金型製造技術の開発

• 人母 岳

  立山マシン株式会社

• 城木 正博

  立山マシン株式会社

• 鍋澤 浩文

  株式会社リッチェル

• 浅地 豊久

  富山県工業技術センター

• 安部 隆

書誌事項

タイトル別名

• Development of titanium micro mold manufacturing technology for the microfluidic chip by plasma etching

抄録

近年，マイクロスケールの構造を有する金型（微細金型）を用いた射出成形により，マイクロ流体チップなど微細構造をもつ樹脂製品を生産するニーズが高まっている．この金型は現在シリコンやニッケル製が主流であるが，耐久性などにおいて様々な課題がある．我々はプラズマエッチングを応用し，靱性，弾性など機械特性に優れた材料であるチタンの高精度微細加工を行うことで，高耐久性の射出成形用微細金型を作製することを試みた．

収録刊行物

• 表面科学学術講演会要旨集

  表面科学学術講演会要旨集 36 (0), 272-, 2016

  公益社団法人 日本表面真空学会

詳細情報

• CRID: 1390001205677842560
• NII論文ID: 130005175719
• DOI: 10.14886/sssj2008.36.0_272
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可