A study on sub-nanometer positioning by using ball screw drive

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Other Title
  • ボールねじ駆動によるサブナノメートル位置決めの研究
  • 停止状態の安定性と位置決め分解能に関する実験と考察
  • Experimental discussion on stability under settled condition and positioning resolution

Abstract

分解能70pmのリニアエンコーダとボールねじおよびエアスライドを用いた位置決め機構のサブナノメートルレベルにおける挙動を実験により検討している．微動動作におけるねじ軸の回転挙動とステージの変位挙動との関係を明らかにし，さらに停止状態における定常振動をCAS（累積振幅スペクトル）で評価し，機構の周波数特性との関係を考察している．また安定性を向上させるためのオイルフィルムダンパの効果を検証している．

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1390001205655479296
  • NII Article ID
    130005244423
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2016a.0_719
  • Text Lang
    ja
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
    • KAKEN
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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