フォトニックナノジェットを利用した微細加工に関する研究（第2報）

• 上野原 努

  大阪大　工学研究科　機械工学専攻

• 高谷 裕浩

  大阪大　工学研究科　機械工学専攻

• 水谷 康弘

  大阪大　工学研究科　機械工学専攻

書誌事項

タイトル別名

• Laser micro machining using a photonic nanojet(2nd report)
• ビームの位置制御による加工特性の解明
• Investigation of machining characteristics by controlling a beam position

抄録

フォトニックナノジェットは直径数マイクロメートルのマイクロ球にレーザー光を照射することで，マイクロ球後方に発生する光ビームである．そのビーム径は数百ナノメートルであり，伝搬距離は数マイクロメートルである．マイクロ球をマイクロピペットによって加工材料であるシリコンの表面から離れた位置で保持し，それらの間の距離を制御することによってビームの位置制御を行い，加工特性を明らかにする．

収録刊行物

• 精密工学会学術講演会講演論文集

  精密工学会学術講演会講演論文集 2016S (0), 1011-1012, 2016

  公益社団法人 精密工学会

キーワード

• レーザー微細加工
• フォトニックナノジェット
• 高アスペクト比形状

詳細情報

• CRID: 1390282680631168256
• NII論文ID: 130005263766
• DOI: 10.11522/pscjspe.2016s.0_1011
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可