光放射圧プローブを用いた表面微細形状の評価技術に関する研究（第3報）

• 山口 悠希

  大阪大　工学研究科　機械工学専攻

• 道畑 正岐

  東京大　先端科学技術センター

• 水谷 康弘

  大阪大　工学研究科　機械工学専攻

• 高谷 裕浩

  大阪大　工学研究科　機械工学専攻

書誌事項

タイトル別名

• Study on measurement of surface texture with optically trapped micro-sphere (3rd report)
• レーザ捕捉微小球レンズの試料面近傍における位置制御
• Position control of optically trapped micro-spherical lens near substrate

抄録

レーザトラッピングを用いた幾何形状と表面微細形状のハイブリッド計測を提案している．本手法は捕捉球のレンズ効果を利用し試料面のイメージングを行うため，捕捉球を試料面近傍まで接近させる必要がある．しかし試料面近傍では散乱光の影響により捕捉球が複雑な挙動を示すため，単純な接近は難しい．そこで本報では電磁場シミュレーションに基づき捕捉球制御手法を考案し，ビーム遮蔽が捕捉球制御に有用であることを示した．

収録刊行物

• 精密工学会学術講演会講演論文集

  精密工学会学術講演会講演論文集 2016S (0), 37-38, 2016

  公益社団法人 精密工学会

キーワード

• マイクロ球
• レーザトラッピング
• 表面微細形状
• 位置制御
• イメージング

詳細情報

• CRID: 1390282680631590912
• NII論文ID: 130005263872
• DOI: 10.11522/pscjspe.2016s.0_37
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可