微小孔アレイへの送液のための温調機能付きマイクロ流路デバイスの作製とその機能評価

• 吉賀 雅史

  九工大　情報工学府　情報創成専攻

• 青井 将士

  九工大　情報工学府　情報創成専攻

• 石井 朋幸

  九工大　情報工学府　情報創成専攻

• 藤 圭亮

  九工大　情報工学府　情報創成専攻

• 村上 直

  九工大　情報工学府　情報創成専攻

• 伊藤 高廣

  九工大　情報工学府　情報創成専攻

抄録

本研究では，医療用微小針等の孔アレイに組み合わせて送液に使用することを想定した,マイクロ流路およびマイクロヒーターの作製を目的とした．流路デバイスは,微細切削加工により流路を加工したガラス基板を樹脂基板で封止することで作製した.また,MEMS技術を利用することで,温度調整用のニッケル薄膜抵抗型マイクロヒーターを作製した.両デバイスを組み合わせたデバイスにおいて,液の加熱・流通等の機能評価を行った.

収録刊行物

• 精密工学会学術講演会講演論文集

  精密工学会学術講演会講演論文集 2016S (0), 493-494, 2016

  公益社団法人 精密工学会

キーワード

• 微細切削加工
• マイクロ流路デバイス
• マイクロヒーター

詳細情報

• CRID: 1390282680631966208
• NII論文ID: 130005263910
• DOI: 10.11522/pscjspe.2016s.0_493
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可