光放射圧プローブを用いた表面微細形状の評価技術に関する研究（第2報）

• 金 鐘剛

  大阪大　工学研究科　機械工学専攻

• 道畑 正岐

  東京大　先端科学技術研究センター

• 高谷 裕浩

  大阪大　工学研究科　機械工学専攻

• 水谷 康弘

  大阪大　工学研究科　機械工学専攻

書誌事項

タイトル別名

• Study on measurement of surface texture with optically trapped micro-sphere (2nd report)
• レーザトラッピングされたマイクロ球によるイメージング
• Imaging with optically trapped micro-sphere

抄録

レーザトラッピング技術によって走査可能なマイクロ球を利用したイメージング方法を提案している．マイクロ球を試料面上で非接触走査することによって任意の位置でイメージングが実現される．大気中で捕捉されたマイクロ球が試料面近傍で対物レンズとして機能し，CCD面上に結像する装置を構築した．結像条件を実験的に明らかにし，マイクロ球を走査することで任意の位置でイメージングが可能であることを検証した．

収録刊行物

• 精密工学会学術講演会講演論文集

  精密工学会学術講演会講演論文集 2016S (0), 59-60, 2016

  公益社団法人 精密工学会

キーワード

• 表面微細形状計測
• レーザトラッピング
• マイクロ球
• イメージング

詳細情報

• CRID: 1390001205655330432
• NII論文ID: 130005264074
• DOI: 10.11522/pscjspe.2016s.0_59
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可