サブnmオーダ分解能を有する光スピンホール効果プローブの開発

• 水谷 康弘

  大阪大　大学院工学研究科 機械工学専攻

• 上田 和徳

  大阪大　大学院工学研究科 機械工学専攻

• 高谷 裕浩

  大阪大　大学院工学研究科 機械工学専攻

書誌事項

タイトル別名

• Optical probe with sub-nm resolution by the Optical Spin Hall Effect
• （第一報）光スピンホール効果の諸特性
• (1st report) Characteristics of the Optical Spin Hall Effect

抄録

非接触測定が可能な光プローブは，三次元計測において広く用いられている．測定の空間分解能はプローブの大きにより制限されており，回折限界から100nm以下の空間分解能の実現が困難となっている．本研究では，光スピンホール効果(SHE)により発生する10nm以下の光線シフトに着目し，サブnmオーダの空間分解能を有するSHEプローブの構築を目指している．本報告では，SHEの諸特性を検証したので報告する．

収録刊行物

• 精密工学会学術講演会講演論文集

  精密工学会学術講演会講演論文集 2016S (0), 981-982, 2016

  公益社団法人 精密工学会

キーワード

• 光スピンホール効果
• 光プローブ
• 偏光計測
• 弱測定

詳細情報

• CRID: 1390282680632978944
• NII論文ID: 130005264238
• DOI: 10.11522/pscjspe.2016s.0_981
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可