マイクロ光分析デバイスの開発と二酸化炭素濃度センサへの応用

• 原 仁

  横河電機株式会社

• 岸 直輝

  横河電機株式会社

• 岩岡 秀人

  横河電機株式会社

書誌事項

タイトル別名

• Development of Micro-spectrum Analyzing Devices: Applications to Carbon Dioxide Sensor
• マイクロ ヒカリ ブンセキ デバイス ノ カイハツ ト 2サンカタンソ ノウド センサ エ ノ オウヨウ

抄録

We have developed an infrared detector and a micro variable infrared filter for micro-spectrum analyzing devices. Two infrared detectors and the infrared filter were mounted on the identical package. A micro-spectrum analyzing device of 1cm³ volume as the two wavelength NDIR system for combining these elements with the infrared source was able to measure the concentration of carbon dioxide.

収録刊行物

• 電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）

  電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌） 122 (5), 274-279, 2002

  一般社団法人 電気学会

キーワード

• 非分散赤外
• ボロメータ
• 波長可変赤外フィルタ
• 二酸化炭素

詳細情報

• CRID: 1390282679438612992
• NII論文ID: 130005403949
• NII論文ID: 10008218940
• NII書誌ID: AN1052634X
• DOI: 10.1541/ieejsmas.122.274
• ISSN: 13475525
• ISSN: 13418939
• NDL書誌ID: 6152663
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I6152663
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/122/5/122_5_274/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可