真空アーク蒸着法により作製したNd-Fe-B系磁石膜

• 堤 友旭

  長崎大

• 柳井 武志

  長崎大

• 中野 正基

  長崎大

• 福永 博俊

  長崎大

書誌事項

タイトル別名

• Nd-Fe-B film magnets prepared by vacuum arc deposition

抄録

小型電子デバイスを開発するうえでその機器内部に使われる数十μm厚の希土類系厚膜磁石が所望されている。我々は真空アーク蒸着法によりNd-Fe-B系磁性厚膜磁石を作製してきた。本実験ではアーク放電に用いるコンデンサ容量を変化させた際の磁気特性に与える影響を検討したので報告する。

収録刊行物

• 電気関係学会九州支部連合大会講演論文集

  電気関係学会九州支部連合大会講演論文集 2011 (0), 628-628, 2011

  電気・情報関係学会九州支部連合大会委員会

キーワード

• マグネティックス

詳細情報

• CRID: 1390001205664853248
• NII論文ID: 130005455803
• DOI: 10.11527/jceeek.2011.0_628
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可