電気めっきによるマイクロカンチレバーのための機能性材料の創製

• 貝塚 聡

  関東学院大

• 和田 浩史

  関東学院大

• 和久田 陽平

  関東学院大

• 田代 雄彦

  関東学院大 表面研

• 渡辺 充広

  関東学院大 表面研

• 本間 英夫

  関東学院大

書誌事項

タイトル別名

• Creation of Functional Materials for Micro Cantilever by Electroplating

抄録

近年、リソグラフィ技術、電鋳技術、およびモールディング技術を利用したマイクロマシニング技術が隆盛を極めており、様々な製品に応用されている。電鋳技術によるマイクロマシンの作製では、求められる材料特性を持つ電鋳皮膜を得るための基本的な研究が必要不可欠である。本研究では、マイクロカンチレバーに必要なバネ特性に優れた電鋳皮膜の検討を行ったので、これを報告する。

収録刊行物

• エレクトロニクス実装学術講演大会講演論文集

  エレクトロニクス実装学術講演大会講演論文集 23 (0), 52-53, 2009

  一般社団法人エレクトロニクス実装学会

キーワード

• 電気めっき
• MEMS

詳細情報

• CRID: 1390001205555429760
• NII論文ID: 130005469497
• DOI: 10.11486/ejisso.23.0_52
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可