MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発(第4報)

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タイトル別名
  • 表面荒れを抑えた探針製作法

抄録

MEMS技術を応用し,機械加工面の真直度を高精度に測定するためのマルチカンチレバー変位測定デバイスの要素製作を行った.薬液組成の調整やエッチング時のウェハの姿勢の変更により,シリコンウェハ表面を鏡面に保ちつつ高さ約250μmの探針を製作することに成功した.また,ピエゾ抵抗体を用いた変位検出回路を製作して,先端変位に対して抵抗値変化が生じることを確認し,本デバイスによる変位測定が可能であることを確認した.

収録刊行物

詳細情報

  • CRID
    1390282680635997824
  • NII論文ID
    130005478921
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2014s.0_49
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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