MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発(第4報)
書誌事項
- タイトル別名
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- 表面荒れを抑えた探針製作法
抄録
MEMS技術を応用し,機械加工面の真直度を高精度に測定するためのマルチカンチレバー変位測定デバイスの要素製作を行った.薬液組成の調整やエッチング時のウェハの姿勢の変更により,シリコンウェハ表面を鏡面に保ちつつ高さ約250μmの探針を製作することに成功した.また,ピエゾ抵抗体を用いた変位検出回路を製作して,先端変位に対して抵抗値変化が生じることを確認し,本デバイスによる変位測定が可能であることを確認した.
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2014S (0), 49-50, 2014
公益社団法人 精密工学会
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詳細情報
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- CRID
- 1390282680635997824
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- NII論文ID
- 130005478921
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可