アトムプローブにおける電界蒸発トリガー方法の比較

• 谷口 昌宏

  金沢工業大学

抄録

アトムプローブは表面原子あるいは原子団を電界蒸発によってイオン化して逐一検出し、かつ飛行時間法によって同定する手法である。パルス電界蒸発を起こさせるトリガーとして電圧パルスに代わり、近年は短パルスレーザーが主流になりつつある。単一試料の分析によって両者の違いを検証するために、電圧パルスとレーザーパルスのトリガーを交互に試料に印加できるシステムを構築したので、その紹介と分析結果を報告する。

収録刊行物

• 表面科学学術講演会要旨集

  表面科学学術講演会要旨集 34 (0), 38-, 2014

  公益社団法人 日本表面真空学会

詳細情報

• CRID: 1390282680654418944
• NII論文ID: 130005481107
• DOI: 10.14886/sssj2008.34.0_38
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可