Testing a magnetically converging helicon source for high speed reactive ion etching

• 仲野 雄大

  東北大学工学研究科電気エネルギーシステム専攻安藤・高橋研究室

• 高橋 和貴

  東北大学工学研究科電気エネルギーシステム専攻安藤・高橋研究室

• 小室 淳史

  東北大学工学研究科電気エネルギーシステム専攻安藤・高橋研究室

• 安藤 晃

  東北大学工学研究科電気エネルギーシステム専攻安藤・高橋研究室

収録刊行物

• 電気関係学会東北支部連合大会講演論文集

  電気関係学会東北支部連合大会講演論文集 2015 (0), 15-15, 2015

  電気関係学会東北支部連合大会実行委員会

詳細情報

• CRID: 1390001205644230144
• NII論文ID: 130005485812
• DOI: 10.11528/tsjc.2015.0_15
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles