革新的“plasma fusion CMP装置”の設計・試作（第6報）

• 塩澤 昂祐

  大阪大　工学研究科　精密科学コース

• 平岡 佑太

  大阪大　工学研究科　精密科学コース

• 佐野 泰久

  大阪大　工学研究科　精密科学コース

• 土肥 俊郎

  九州大　オプト・エレクトロニクス機能材料領域

• 黒河 周平

  九州大　工学研究院　機械工学部門

• 會田 英雄

  九州大，並木精密宝石

• 大山 幸希

  並木精密宝石　エヌ・ジェイ・シー技術研究所

• 宮下 忠一

  不二越機械工業　開発設計部

• 住澤 春男

  不二越機械工業　開発設計部

• 山内 和人

  大阪大　工学研究科　精密科学コース

書誌事項

タイトル別名

• 基本型装置 （A型）の平坦化特性についての詳細な検討

抄録

我々は機械加工とプラズマエッチングを融合させた新たな平坦化加工法を提案しており、機械加工とプラズマエッチングを交互に行うことができる装置を開発した。前報では、意図的に凹凸を形成した炭化ケイ素を加工対象として融合加工を繰り返し行い、本加工法の原理検証と実験装置の平坦化性能について報告した。本報では、更に詳細な平坦化性能についての評価を行った結果について報告する。

収録刊行物

• 精密工学会学術講演会講演論文集

  精密工学会学術講演会講演論文集 2015S (0), 525-526, 2015

  公益社団法人 精密工学会

キーワード

• 平坦化
• プラズマエッチング
• 機械加工
• 炭化ケイ素

詳細情報

• CRID: 1390282680634035968
• NII論文ID: 130005486381
• DOI: 10.11522/pscjspe.2015s.0_525
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可