同軸二重型差動ボールねじを用いた超高分解能リニアステッピングアクチュエータ Linear stepping actuator with ultra-fine resolution using coaxial differential ball screw

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抄録

前報までに,わずかにリードの異なるボールねじを同軸上に二重に配置した同軸二重差動ボールねじを試作した.本報では,同軸二重型差動ボールねじとステッピングモータを一体化した超高分解能リニアステッピングアクチュエータを新たに試作し,その位置決め分解能と送り精度を実験により評価している.さらに送り誤差の補正方法について検討し,開ループ制御による簡便な補正法の有効性を検証している.

収録刊行物

  • 精密工学会学術講演会講演論文集

    精密工学会学術講演会講演論文集 2015S(0), 597-598, 2015

    公益社団法人 精密工学会

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