フォトニックナノジェットを利用した微細加工に関する研究 （第1報）

• 上野原 努

  大阪大　工学研究科　機械工学専攻

• 高谷 裕浩

  大阪大　工学研究科　機械工学専攻

• 水谷 康弘

  大阪大　工学研究科　機械工学専攻

• 道畑 正岐

  東京大　工学研究科　精密工学専攻

書誌事項

タイトル別名

• Laser micro machining using a photonic nanojet (1st report)
• ビームの位置制御技術の検討
• Investigation of a beam position controlling method

抄録

フォトニックナノジェットは，直径数マイクロメートルのマイクロ球にレーザー光を照射することで，マイクロ球後方に発生する光ビームである．そのビーム径は数百ナノメートルであり，伝搬距離は数マイクロメートルである．マイクロピペットによってマイクロ球をシリコン基板から離れた状態で捕捉し，位置制御することによってビームの位置制御を行う．本報では，ビームの位置制御技術について検討する．

収録刊行物

• 精密工学会学術講演会講演論文集

  精密工学会学術講演会講演論文集 2015A (0), 395-396, 2015

  公益社団法人 精密工学会

キーワード

• レーザー微細加工
• フォトニックナノジェット
• 高アスペクト比形状加工

詳細情報

• CRID: 1390001205657407744
• NII論文ID: 130005486757
• DOI: 10.11522/pscjspe.2015a.0_395
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可