高速C60イオンを用いた透過型二次イオン質量分析 Transmission secondary ion mass spectrometry using fast C60 ions

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Author(s)

    • 中嶋 薫 Nakajima Kaoru
    • 京都大学大学院工学研究科 マイクロエンジニアリング専攻 Department of Micro Engineering, Kyoto University
    • 丸毛 智矢 Marumo Tomoya
    • 京都大学大学院工学研究科 マイクロエンジニアリング専攻 Department of Micro Engineering, Kyoto University
    • 山本 和輝 Yamamoto Kazuki
    • 京都大学大学院工学研究科 マイクロエンジニアリング専攻 Department of Micro Engineering, Kyoto University
    • 永野 賢悟 Nagano Kengo
    • 京都大学大学院工学研究科 マイクロエンジニアリング専攻 Department of Micro Engineering, Kyoto University
    • 鳴海 一雅 Narumi Kazumasa
    • 日本原子力研究開発機構 高崎量子応用研究所 Takasaki Advanced Radiation Research Institute, Japan Atomic Energy Agency
    • 斎藤 勇一 Saitoh Yuichi
    • 日本原子力研究開発機構 高崎量子応用研究所 Takasaki Advanced Radiation Research Institute, Japan Atomic Energy Agency
    • 平田 浩一 Hirata Koichi
    • 産業技術総合研究所 物質計測標準研究部門 Research Institute for Material and Chemical Measurement, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
    • 木村 健二 Kimura Kenji
    • 京都大学大学院工学研究科 マイクロエンジニアリング専攻 Department of Micro Engineering, Kyoto University

Abstract

自立したシリコン窒化膜にアミノ酸またはペプチドなどの生体分子を堆積した試料を作製し、5 MeVのC<sub>60</sub><sup>+</sup>イオンをシリコン窒化膜側から照射し、前方に放出された正の二次イオンの質量分析を行った。通常のSIMS分析で行われるように生体分子側から照射して後方に放出する二次イオンを分析した場合と比較すると、分解片イオンの放出が抑制され、無傷の分子イオン/分解片イオンの収率比が向上することがわかった。

Journal

  • Abstract of annual meeting of the Surface Science of Japan

    Abstract of annual meeting of the Surface Science of Japan 35(0), 354, 2015

    The Surface Science Society of Japan

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