マイクロ波表面波プラズマCVD法によるグラフェンの合成

• 市村 進

  中部大 岡山大

• 林 靖彦

  岡山大

• 梅野 正義

  中部大

書誌事項

タイトル別名

• Synthesis of graphene by microwave surface wave plasma CVD method

抄録

マイクロ波表面波プラズマCVD法でグラフェンの合成に成功した。本方式で作製したグラフェンと熱CVD法で作製したグラフェンの比較を行った。

収録刊行物

• 表面科学学術講演会要旨集

  表面科学学術講演会要旨集 35 (0), 272-, 2015

  公益社団法人 日本表面真空学会

キーワード

• グラフェン
• マイクロ波表面波プラズマCVD

詳細情報

• CRID: 1390001205678566144
• NII論文ID: 130005489564
• DOI: 10.14886/sssj2008.35.0_272
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可