1対の支持梁による3次元駆動MEMSスキャナの形状設計

• 小口 陽平

  早稲田大学理工学術院基幹理工学研究科機械科学専攻

• 飯野 知紗

  早稲田大学理工学術院基幹理工学研究科機械科学専攻

• 岩瀬 英治

  早稲田大学理工学術院基幹理工学研究科機械科学専攻

書誌事項

タイトル別名

• The Design of MEMS Scanner for the Three Dimensional Actuation with a Pair of Beams
• 1ツイ ノ シジリョウ ニ ヨル 3ジゲン クドウ MEMS スキャナ ノ ケイジョウ セッケイ

抄録

We propose the design for three-dimensional (3-D) scanning micromirror with single pair of beams. A 3-D scanning micromirror is powerful solution for projection/detection of a 3-D image in tiny devices. We succeed in designing and fabricating the micromirror having three separated resonance modes (two torsion modes and one parallel mode) with high fill-factor. Our design of single pair of beams can contribute to simpleness and compactness of a 3-D scanner because of easy fabrication and high fill-factor.

収録刊行物

• 電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）

  電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌） 136 (10), 448-453, 2016

  一般社団法人 電気学会

キーワード

• MEMSスキャナ
• 3次元駆動
• 共振周波数
• 形状設計

詳細情報

• CRID: 1390001204460476032
• NII論文ID: 130005598214
• NII書誌ID: AN1052634X
• DOI: 10.1541/ieejsmas.136.448
• ISSN: 13475525
• ISSN: 13418939
• NDL書誌ID: 027712152
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I027712152
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/136/10/136_448/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles
  • KAKEN
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可