ヘテロ原子ドーピングしたグラファイト上のシリコンポリマー薄膜の微細配向制御

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タイトル別名
  • Micro-orientation control of silicon polymer thin films on graphite surface modified by heteroatom doping

抄録

ポリジメチルシラン薄膜の微細配向がヘテロ原子ドーピングによる表面改質により制御可能かどうか調べるため、イオンビーム照射したグラファイト基板上に薄膜を蒸着し、吸収端近傍X線吸収微細構造分光法により配向構造を調べた。その結果、非照射基板とN2+照射基板では水平・垂直配向が得られ、Ar+照射基板ではランダム配向をとることを明らかにした。さらに光電子顕微鏡により観測した微細配向構造についても報告する。

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390001205678776832
  • NII論文ID
    130005974758
  • DOI
    10.14886/sssj2008.37.0_284
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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