Micro-orientation control of silicon polymer thin films on graphite surface modified by heteroatom doping

• Shimoyama Iwao

  Japan Atomic Energy Agency

• Baba Yuji

  Japan Atomic Energy Agency

• Hirao Norie

  Japan Atomic Energy Agency

Bibliographic Information

Other Title

• ヘテロ原子ドーピングしたグラファイト上のシリコンポリマー薄膜の微細配向制御

Abstract

ポリジメチルシラン薄膜の微細配向がヘテロ原子ドーピングによる表面改質により制御可能かどうか調べるため、イオンビーム照射したグラファイト基板上に薄膜を蒸着し、吸収端近傍X線吸収微細構造分光法により配向構造を調べた。その結果、非照射基板とN2+照射基板では水平・垂直配向が得られ、Ar+照射基板ではランダム配向をとることを明らかにした。さらに光電子顕微鏡により観測した微細配向構造についても報告する。

Journal

• Abstract of annual meeting of the Surface Science of Japan

  Abstract of annual meeting of the Surface Science of Japan 37 (0), 284-, 2017

  The Japan Society of Vacuum and Surface Science

Keywords

• ポリシラン
• 配向制御
• NEXAFS
• PEEM
• ヘテロ原子ドーピング

Details

• CRID: 1390001205678776832
• NII Article ID: 130005974758
• DOI: 10.14886/sssj2008.37.0_284
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • JaLC
  • CiNii Articles
• Abstract License Flag: Disallowed