光スピンホール効果エリプソメトリの開発（第一報）基本原理の検証

• 藤田 寛之

  大阪大　工学研究科

• 水谷 康弘

  大阪大　工学研究科

• 高谷 裕浩

  大阪大　工学研究科

抄録

半導体デバイス等における薄膜計測では，非破壊・非接触で計測可能なエリプソメトリが広く利用されている．試料の特性を決定するために，偏光状態の変化を光強度から取得する従来の手法に対して，本研究では，光スピンホール効果を利用した新たな計測手法を提案する．光スピンホール効果によって分離した光線シフト量は，偏光状態の変化に依存するため，シフト量を計測することで偏光計測を可能にする．

収録刊行物

• 精密工学会学術講演会講演論文集

  精密工学会学術講演会講演論文集 2017S (0), 279-280, 2017

  公益社団法人 精密工学会

キーワード

• 光スピンホール効果
• エリプソメトリ
• 偏光

詳細情報

• CRID: 1390001205658786816
• NII論文ID: 130006043639
• DOI: 10.11522/pscjspe.2017s.0_279
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可