光放射圧プローブを用いた表面微細形状の評価技術に関する研究（第5報）

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書誌事項

タイトル別名
  • Study on measurement of surface texture with optically trappedmicro-sphere (5th report)
  • イメージングの高コントラスト化
  • Improvement of image contrast

抄録

レーザトラッピングを用いた三次元幾何形状と表面微細形状のハイブリッド計測を提案している．本手法ではレーザで捕捉したガラスマイクロ球を振動させ，位置検出のプローブとして利用する．また捕捉球のレンズ効果により試料表面をイメージングする．しかし球レンズでは表面の散乱光により，像のコントラスト低下が著しい．そこで本報では高コントラスト化について検討し，照明の最適化が有効であることを明らかにした．

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390282680635504640
  • NII論文ID
    130006043643
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2017s.0_271
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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