低屈折率の透明樹脂パッドを用いたCMPにおけるモニタリング技術に関する研究

• 鬼木 喬玄

  九工大　情報工学府

• 鈴木 恵友

  九工大　情報工学府

• カチョーンルンルアン パナート

  九工大　情報工学府

抄録

水と同等の屈折率を有する透明な樹脂パッドを用いて、スラリー中の微粒子観察やシリコン酸化膜の膜測など、CMPにおけるモニタリング技術に関する研究を行っている。今回は低屈折率の透明樹脂パッドを用いたモニタリング技術のコンセプトと、その足がかりとなる実験データについて報告する。

収録刊行物

• 精密工学会学術講演会講演論文集

  精密工学会学術講演会講演論文集 2017S (0), 523-524, 2017

  公益社団法人 精密工学会

キーワード

• CMP
• パッド
• モニタリング

詳細情報

• CRID: 1390001205659516416
• NII論文ID: 130006043839
• DOI: 10.11522/pscjspe.2017s.0_523
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可