タルボット効果を用いた広範囲3次元リソグラフィ（第1報）

• 篠崎 充

  大阪大　工学研究科　機械工学専攻

• 水谷 康弘

  大阪大　工学研究科　機械工学専攻

• 高谷 裕浩

  大阪大　工学研究科　機械工学専攻

書誌事項

タイトル別名

• Large-area nanofabrication by three-dimensional lithography using Talbot effect
• 波面制御および定在波を援用した機能性構造の作製
• Fabrication of functional structure using wavefront control and standing-wave field

抄録

ナノメートルオーダで作製された３次元構造は様々な機能性光学デバイスとして利用されており，高効率な作製手法が求められている．そこで，本研究ではタルボット効果という周期的な干渉現象を用いた３次元リソグラフィにより，広範囲の３次元ナノ構造を高効率に作製する手法を提案している．本報告では，タルボット効果に波面制御および定在場を援用することにより，様々な機能性光学デバイスが作製できることを示す．

収録刊行物

• 精密工学会学術講演会講演論文集

  精密工学会学術講演会講演論文集 2017S (0), 511-512, 2017

  公益社団法人 精密工学会

キーワード

• 3次元リソグラフィ
• タルボット効果
• 3次元ナノ構造
• モルフォ蝶構造

詳細情報

• CRID: 1390001205659297152
• NII論文ID: 130006043890
• DOI: 10.11522/pscjspe.2017s.0_511
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可