フォトニックナノジェットを利用した微細加工に関する研究（第3報）

• 上野原 努

  大阪大　工学研究科　機械工学専攻

• 水谷 康弘

  大阪大　工学研究科　機械工学専攻

• 高谷 裕浩

  大阪大　工学研究科　機械工学専攻

書誌事項

タイトル別名

• Laser micro machining using a photonic nanojet (3rd report)
• マイクロ球に対するレーザ照射条件の検討
• Investigation of laser irradiation conditions to a microsphere

抄録

フォトニックナノジェットは直径数ミクロンの誘電体球にレーザ光を照射することで発生するビームであり，そのビーム径は入射光波長の半分程度，ビーム長さは入射光波長の数倍である．フォトニックナノジェットの強度分布はマイクロ球に対するレーザ照射条件で制御することが可能である．レーザ照射条件によって強度分布を制御することで，サブミクロンスケールの微細加工が可能であることを実証した．

収録刊行物

• 精密工学会学術講演会講演論文集

  精密工学会学術講演会講演論文集 2017S (0), 515-516, 2017

  公益社団法人 精密工学会

キーワード

• レーザ微細加工
• フォトニックナノジェット
• 強度分布制御

詳細情報

• CRID: 1390282680636009472
• NII論文ID: 130006043892
• DOI: 10.11522/pscjspe.2017s.0_515
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可