負荷外乱下における予圧ボールねじ位置決め機構の微視的特性:電磁力負荷装置による準静的基礎実験 Microscopic behavior of positioning mechanism driven by preloaded ball screw under externally loaded condition:Quasi-static experiments using electromagnetic loading devise

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抄録

予圧ボールねじは微視的変位領域において非線形なばね特性を持ち,この特性を有効に利用するとナノメートルレベルの位置決め分解能を実現できることがこれまでに示されている.今後はそれらの超精密位置決め性能を,実際の加工負荷外乱下において実現することが期待される.そこで本研究では,予圧ボールねじ駆動位置決め機構に電磁力式の負荷装置を設置し,軸方向負荷を与えた場合の準静的微動特性について実験的に検討している.

収録刊行物

  • 精密工学会学術講演会講演論文集

    精密工学会学術講演会講演論文集 2017A(0), 427-428, 2017

    公益社団法人 精密工学会

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