浮上力制御を利用したスクイーズ効果支持微動テーブルの開発

• 田丸 雄摩

  九工大　大学院工学研究院機械知能工学研究系

• 松本 哲也

  九工大　大学院工学研究院機械知能工学研究系

• 清水 浩貴

  九工大　大学院工学研究院機械知能工学研究系

書誌事項

タイトル別名

• Development of fine motion table supported by squeezed air films based on levitation force control

抄録

微動性能向上の鍵は摺動部の摩擦低減にある．本研究ではスクイーズ効果で浮上支持させ，浮上力制御と自重バランスで駆動可能な微動テーブルを開発した．加振振幅を与えることで浮上力が得られ，振幅調整によって微動が生じる．試験の結果，テーブルが非接触で支持されていることを確認した．また，振幅をステップ状に変化させたところ変化に応じてテーブルが微動し，全ストローク変位と最小変位を観察できた．

収録刊行物

• 精密工学会学術講演会講演論文集

  精密工学会学術講演会講演論文集 2017A (0), 727-728, 2017

  公益社団法人 精密工学会

キーワード

• スクイーズ効果
• 微動テーブル
• 非接触支持
• ピエゾ素子

詳細情報

• CRID: 1390282680634205568
• NII論文ID: 130006434531
• DOI: 10.11522/pscjspe.2017a.0_727
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可