CW・CCWモード分離器を用いた周波数変調・積分型MEMSジャイロスコープ

• 塚本 貴城

  東北大学

• 田中 秀治

  東北大学

書誌事項

タイトル別名

• Frequency Modulated/Whole Angle MEMS Gyroscope using CW/CCW Mode Separator

抄録

This paper reports a novel frequency modulated (FM)/whole angle(WA) gyroscope using independently controlled CW/CCW mode oscillations on a single resonator. A CW/CCW mode separator was developed and each mode was independently excited on a single resonator. Applied angular rate was detected by the FM-mode operation with excellent linearity. The scale factor had almost no temperature dependency. In addition, the rotation angle was directly detected by the WA-mode operation with excellent linearity.

収録刊行物

• 年次大会

  年次大会 2017 (0), G2200101-, 2017

  一般社団法人 日本機械学会

キーワード

• MEMS
• Degenarated resonator
• FM gyroscope
• Whole Angle Gyroscope
• Eigenmodes

詳細情報

• CRID: 1390001205843585536
• NII論文ID: 130006550049
• DOI: 10.1299/jsmemecj.2017.g2200101
• ISSN: 24242667
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/jsmemecj/2017/0/2017_G2200101/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • Crossref
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可