822 レーザビーム形状成形による光回折応用マイクロ工具測定精度の向上

• 城島 悠

  九州工業大

• 鈴木 恵友

  九州工業大

• 力チョーンルンルアン パナート

  九州工業大

書誌事項

タイトル別名

• 822 Improvement of tool measurement precision with optical diffraction method by a shaped laser beam

収録刊行物

• 日本機械学会九州支部講演論文集

  日本機械学会九州支部講演論文集 2015.68 (0), 343-344, 2015

  一般社団法人 日本機械学会

キーワード

• micro tool
• diffraction
• measurement
• optical
• laser

詳細情報

• CRID: 1390001205865282176
• NII論文ID: 130006576079
• DOI: 10.1299/jsmekyushu.2015.68.343
• ISSN: 24242780
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/jsmekyushu/2015.68/0/2015.68_343/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • Crossref
  • CiNii Articles