X線を用いた高速バンプ検査手法の開発 High Speed Bump Inspection Method Using X-ray Fluoroscopy

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Abstract

X線を用いて微小バンプを検査する手法を開発した。X線発生量のゆらぎをリアルタイム補正する手段と、高解像度カメラを使用することで高精度化と高速化を図った。その結果、インラインで検査できる速度と精度を実現した。

Journal

  • Proceedings of JIEP Annual Meeting

    Proceedings of JIEP Annual Meeting 2003(0), 131-131, 2003

    The Japan Institute of Electronics Packaging

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