表面処理とSm添加がチタン酸バリウムセラミックスの酸素拡散に及ぼす影響

• 坂口 勲

  物質・材料研究機構

• 廣瀬 左京

  村田製作所

• 宮崎 宏基

  物質・材料研究機構

• 古田 朋大

  物質・材料研究機構

• 渡邊 賢

  物質・材料研究機構

• 景山 恵介

  村田製作所

• 菱田 俊一

  物質・材料研究機構

• 大橋 直樹

  物質・材料研究機構

書誌事項

タイトル別名

• Effect of surface treatment on oxygen diffusion in Sm doped BaTiO3 ceramics

抄録

Sm添加チタン酸バリウムの酸素拡散に関する研究を行った。はじめにSm添加チタン酸バリウムの酸素拡散は遅い事が考えられ、このような遅い酸素拡散の場合、試料の表面処理が拡散に及ぼす影響を検討した。その結果、化学機械研磨(CMP)による表面処理が研磨に伴う表面近傍の欠陥がなく、良好な結果が得られる事が分かった。CMP処理試料は、通常の機械研磨ー熱処理試料よりも拡散係数が小さく、酸素拡散へのSmの添加効果を研究する理想的な表面処理方法である事が分かった。

収録刊行物

• 日本セラミックス協会　年会・秋季シンポジウム 講演予稿集

  日本セラミックス協会　年会・秋季シンポジウム 講演予稿集 2012S (0), 3-3, 2012

  公益社団法人 日本セラミックス協会

キーワード

• 表面処理
• 酸素拡散
• チタン酸バリウム

詳細情報

• CRID: 1390001205618185472
• NII論文ID: 130006976556
• DOI: 10.14853/pcersj.2012s.0.3.0
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可