サファイア基板上への窒化スカンジウム薄膜の作製

• 大垣 武

  独立行政法人　物質・材料研究機構

• 安達 裕

  独立行政法人　物質・材料研究機構

• 坂口 勲

  独立行政法人　物質・材料研究機構

• 菱田 俊一

  独立行政法人　物質・材料研究機構

• 大橋 直樹

  独立行政法人　物質・材料研究機構

• 羽田 肇

  独立行政法人　物質・材料研究機構

書誌事項

タイトル別名

• Synthesis of ScN thin films on sapphire substrates

抄録

ScNは、岩塩型の結晶構造を有するため、その成長基板には、同じ岩塩型結晶構造のMgO単結晶が一般的に用いられる。しかしながら、MgOは、高品質かつ大口径の単結晶を得ることが困難である。そこで、高品質な大口径基板材料として広く利用されているサファイア単結晶上に、MBE法を用いて、ScN薄膜を成長させ、その配向性、結晶性について検討した。当日は、ScNとサファイア基板との原子配列、格子整合性の観点から、サファイア基板上に作製したScN薄膜の成長様式について議論する予定である。

収録刊行物

• 日本セラミックス協会　年会・秋季シンポジウム 講演予稿集

  日本セラミックス協会　年会・秋季シンポジウム 講演予稿集 2011F (0), 581-581, 2011

  公益社団法人 日本セラミックス協会

キーワード

• 窒化スカンジウム
• 薄膜
• 分子線エピタキシー
• サファイア

詳細情報

• CRID: 1390282680595920000
• NII論文ID: 130006978184
• DOI: 10.14853/pcersj.2011f.0.581.0
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可