CVDダイヤモンドの化学構造に及ぼす重水素、ヘリウム照射効果

• 佐々木 政義

  静岡大・理・放射研

• 木村 宏美

  静岡大・理・放射研

• 森本 泰臣

  静岡大・理・放射研

• 奥野 健二

  静岡大・理・放射研

• 高橋 幸司

  原研・那珂

• 坂本 慶司

  原研・那珂

• 今井 剛

  原研・那珂

書誌事項

タイトル別名

• ENERGETIC DEUTERIUM AND HELIUM IRRADIATION EFFECTS ON CHEMICAL STRUCTURE OF CVD DIAMOND

抄録

ミリ波帯高周波 (RF) プラズマ加熱装置のトーラス入射口用真空窓 (トーラス窓) の候補材として人工ダイヤモンドが考えられている。これに高エネルギーイオン (重水素、ヘリウム) を打ち込み、その化学構造変化及び入射重水素の存在状態をX線光電子分光法 (XPS) 、昇温脱離法 (TDS) にて調べた。

収録刊行物

• 日本原子力学会　年会・大会予稿集

  日本原子力学会　年会・大会予稿集 2003f (0), 588-588, 2003

  一般社団法人 日本原子力学会

キーワード

• ダイヤモンド
• 重水素
• ヘリウム
• XPS
• TDS

詳細情報

• CRID: 1390001205717147008
• NII論文ID: 130007025792
• DOI: 10.11561/aesj.2003f.0.588.0
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可