ENERGETIC DEUTERIUM AND HELIUM IRRADIATION EFFECTS ON CHEMICAL STRUCTURE OF CVD DIAMOND

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  • CVDダイヤモンドの化学構造に及ぼす重水素、ヘリウム照射効果

Abstract

ミリ波帯高周波 (RF) プラズマ加熱装置のトーラス入射口用真空窓 (トーラス窓) の候補材として人工ダイヤモンドが考えられている。これに高エネルギーイオン (重水素、ヘリウム) を打ち込み、その化学構造変化及び入射重水素の存在状態をX線光電子分光法 (XPS) 、昇温脱離法 (TDS) にて調べた。

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  • CRID
    1390001205717147008
  • NII Article ID
    130007025792
  • DOI
    10.11561/aesj.2003f.0.588.0
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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