CVDダイヤモンドの化学構造に及ぼす重水素、ヘリウム照射効果 ENERGETIC DEUTERIUM AND HELIUM IRRADIATION EFFECTS ON CHEMICAL STRUCTURE OF CVD DIAMOND

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ミリ波帯高周波 (RF) プラズマ加熱装置のトーラス入射口用真空窓 (トーラス窓) の候補材として人工ダイヤモンドが考えられている。これに高エネルギーイオン (重水素、ヘリウム) を打ち込み、その化学構造変化及び入射重水素の存在状態をX線光電子分光法 (XPS) 、昇温脱離法 (TDS) にて調べた。

Journal

  • Proceedings of Annual / Fall Meetings of Atomic Energy Society of Japan

    Proceedings of Annual / Fall Meetings of Atomic Energy Society of Japan 2003f(0), 588-588, 2003

    Atomic Energy Society of Japan

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