微細パターン構造の面外うねり座屈解析における板厚の影響

• 杉浦 順哉

  名大院

• 奥村 大

  阪大院

• 田中 展

  阪大院

書誌事項

タイトル別名

• Influence of plate thickness on out-of-plane undulating buckling analysis of microscopic patterned structure

収録刊行物

• 東海支部総会講演会講演論文集

  東海支部総会講演会講演論文集 2017.66 (0), 518-, 2017

  一般社団法人 日本機械学会

キーワード

• Semiconductor device
• Intrinsic stress
• Buckling
• Plate theory
• Finite element analysis

詳細情報

• CRID: 1390001205944823296
• NII論文ID: 130007251573
• DOI: 10.1299/jsmetokai.2017.66.518
• ISSN: 24242748
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/jsmetokai/2017.66/0/2017.66_518/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • Crossref
  • CiNii Articles