金属箔による精密加工の可能性

• 赤岡 三志郎

  横浜国大　教育学部　技術教育講座

• 坂本 智

  横浜国大　教育学部　技術教育講座

• 源馬 正也

  横浜国大　教育学部　技術教育講座

• 近藤 康雄

  山形大　大学院理工学研究科

• 山口 顕司

  米子高専　機械工学科

• 山口 貢

  サレジオ高専　機械電子工学科

書誌事項

タイトル別名

• Possibility of Precision Processing with Metal Foil

抄録

本研究では，カーフロス（切溝損失）を低減させるため，極薄金属箔の工具としての可能性について検討する．カーフロスの大幅な減少は，ウェハ製造コストを容易に圧縮することが可能である．また，希少材料を有効利用することにもつながり，省資源の観点からもこれからのウェハ製造業にとって重要な課題の一つである．本報では，厚さ10～50μmの金属箔を用いて，硬脆材料の溝加工を試みた結果を報告する．

収録刊行物

• 精密工学会学術講演会講演論文集

  精密工学会学術講演会講演論文集 2018S (0), 935-936, 2018-03-01

  公益社団法人 精密工学会

キーワード

• 金属箔
• 硬脆材料
• 微小溝加工
• カーフロス
• 被削性

詳細情報

• CRID: 1390001288064051328
• NII論文ID: 130007480644
• DOI: 10.11522/pscjspe.2018s.0_935
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可