Pt触媒を用いたWO₃系多層薄膜NH₃ガスセンサの研究

• 森田 翼

  東京電機大学 工学研究科

• 佐野 晃司

  東京電機大学 工学研究科

• 山口 富治

  東京電機大学 工学研究科

• 原 和裕

  東京電機大学 工学研究科

書誌事項

タイトル別名

• Study on NH₃ Gas Sensors using a WO₃-based Multiple-layered Thin Film with Pt Catalyst
• Pt触媒を用いたWO₃系多層薄膜NH₃ガスセンサの研究
• Pt ショクバイ オ モチイタ WO ₃ ケイ タソウ ハクマク NH ₃ ガスセンサ ノ ケンキュウ

抄録

NH₃ gas is a poisonous substance that adversely affects the environment and humans. A low level NH₃ is created by human bodies and emitted as a component of urine and exhaled breath. Therefore, the detection of NH₃ gas is important to monitor human health conditions. A novel WO₃ multiple-layered thin film NH₃ sensor using Pt catalyst has been developed in this study. WO₃ thin film coated with Pt nanoparticles successfully improves the sensitivity to NH₃ gas. Furthermore, WO₃ multiple-layered thin film with an interspace has the effect of enhancing the sensitivity and lowering the optimum operating temperature. The developed sensor can detect as low as 1 ppm NH₃ gas.

収録刊行物

• 電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）

  電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌） 138 (10), 471-476, 2018-10-01

  一般社団法人 電気学会

キーワード

• NH₃ガスセンサ
• WO₃薄膜
• Pt触媒
• 空隙
• 多層構造

詳細情報

• CRID: 1390564238026194048
• NII論文ID: 130007492719
• NII書誌ID: AN1052634X
• DOI: 10.1541/ieejsmas.138.471
• ISSN: 13475525
• ISSN: 13418939
• NDL書誌ID: 029293553
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I029293553
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/138/10/138_471/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可