低加速電圧SEMの検出信号制御による表面情報の抽出

• 名越 正泰

  ＪＦＥテクノリサーチ

• 佐藤 馨

  ＪＦＥテクノリサーチ

書誌事項

タイトル別名

• Extraction of surface information by controlling detected electrons using low-voltage SEM

抄録

インレンズ二次電子検出器およびアウトレンズ二次電子検出器を備える低加速電圧SEMを用いて、検出する電子を制御することにより材料表面の情報（形状、導電性、組成など）を選択して抽出した。検出器の選択を含む二次電子像観察条件とSEM像コントラストとの関係を、検出する二次電子のエネルギーおよび角度分布により議論する。

収録刊行物

• 表面科学学術講演会要旨集

  表面科学学術講演会要旨集 2018 (0), 8-, 2018

  公益社団法人 日本表面真空学会

詳細情報

• CRID: 1390001288091262592
• NII論文ID: 130007519383
• DOI: 10.14886/sssj2008.2018.0_8
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可