ポリマー基板上金属酸化物薄膜：コーティング法と機能設計

• 山本 哲也

  高知工科大学総合研究所・マテリアルデザインセンター

• 古林 寛

  高知工科大学総合研究所・マテリアルデザインセンター

書誌事項

タイトル別名

• Coating Method of Tailoring Advanced Functions of Metal-oxide Films Deposited on Polymer Substrates
• ポリマー キバン ジョウ キンゾク サンカブツ ハクマク : コーティングホウ ト キノウ セッケイ

抄録

Key factors to achieve functional metal oxide films deposited on flexible polymer-film substrates are discussed. The use of reactive plasma deposition with dc-arc discharge is an effective coating method to grow the metal oxide films with reduced residual stress, leading to the tailored functional films for wide applications.

収録刊行物

• 電気学会論文誌Ｃ（電子・情報・システム部門誌）

  電気学会論文誌Ｃ（電子・情報・システム部門誌） 139 (3), 185-191, 2019-03-01

  一般社団法人 電気学会

キーワード

• 金属酸化物
• ポリマー基板

詳細情報

• CRID: 1390001288124525440
• NII論文ID: 130007606108
• NII書誌ID: AN10065950
• DOI: 10.1541/ieejeiss.139.185
• ISSN: 13488155
• ISSN: 03854221
• NDL書誌ID: 029552578
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I029552578
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejeiss/139/3/139_185/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可