大気に開放された試料室を持つ大気圧走査電子顕微鏡の開発  [in Japanese] Atmospheric Scanning Electron Microscope System with an Open Sample Chamber  [in Japanese]

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Abstract

<p>大気圧走査電子顕微鏡(ASEM)と光学顕微鏡を搭載した装置について,改良・追加された機能を述べる.試料は,大気に開放された薄膜ディッシュ上におかれる.ディッシュ底には電子線を透過可能な薄膜があり,その上に置く試料は液体に浸された状態でも良い.薄膜ディッシュは,倒立型SEM鏡筒の先端に設置され,鏡筒内を真空に保つシールの役割も果たす.また,薄膜ディッシュの上方には光顕を搭載しており,上から光顕像,下から薄膜を通して電子線を試料に照射しSEM像の取得ができる.改良・追加された機能は,モーターステージ,万が一の薄膜破壊に備えた鏡筒汚染保護機構,装置を制御するグラフィカルユーザーインターフェイスである.本装置は,ASEM観察しながらの試薬の投与を可能にし,体積変化のある現象にも対応できる.このような利点により,液中のシリカ粒子のランダムな運動を観察しながら,食塩水を滴下した際の反応を観察できた.</p>

<p>Basic designs and recent developments of an atmospheric scanning electron microscope (ASEM) system and optical microscope (OM) are reported. Samples are in liquid or gas at atmospheric pressure on the electron-transparency window of the open ASEM dish which is sealed to the top of an inverted SEM column. OM is placed above the dish. The improved system has (i) a fully motorized sample stage, (ii) a column protection system in case of accidental window breakage, and (iii) an OM/SEM operation system controlled by a graphical user interface. The open sample chamber allows the external administration of reagents to the sample during SEM observation, and the study of systems involving volume changes. Taking advantage of this, we monitored the influence of NaCl on the random motion of silica particles in liquid.</p>

Journal

  • KENBIKYO

    KENBIKYO 49(1), 3-6, 2014

    The Japanese Society of Microscopy

Codes

  • NII Article ID (NAID)
    130007701690
  • NII NACSIS-CAT ID (NCID)
    AA11917781
  • Text Lang
    JPN
  • ISSN
    1349-0958
  • NDL Article ID
    025542972
  • NDL Call No.
    Z16-896
  • Data Source
    NDL  J-STAGE 
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