レーザー光を利用した気相からの高速結晶成長

• 伊藤 暁彦

  横浜国立大学 大学院環境情報研究院 東北大学 金属材料研究所

書誌事項

タイトル別名

• Laser-assisted chemical vapor deposition of ceramic coatings with oriented growth and nanostructures
• レーザーコウ オ リヨウ シタ キソウ カラ ノ コウソク ケッショウ セイチョウ

抄録

一般に，レーザー光を用いた材料の合成では，パルスレーザーを集光して局所的に大きなエネルギーを得る．これに対して，連続発振レーザーを広げて用いることで，大きな領域に活性な化学気相成長場を作り出すことができる．気相からの自己配向成長や自己組織化の技術は，実用工業材料に新たな価値を見いだすものである．本稿では，レーザー光を利用した実用セラミックス材料の化学気相成長法（CVD）を紹介し，電子顕微鏡を通して気相からの高速結晶成長を観察する．

収録刊行物

• 応用物理

  応用物理 85 (7), 590-594, 2016-07-10

  公益社団法人 応用物理学会

詳細情報

• CRID: 1390564227308228480
• NII論文ID: 130007715392
• NII書誌ID: AN00026679
• DOI: 10.11470/oubutsu.85.7_590
• ISSN: 21882290
• ISSN: 03698009
• NDL書誌ID: 027523611
• Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/027523611
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I027523611
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • CiNii Articles
  • KAKEN
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可