カリウムイオンエレクトレットを用いた新しいMEMS技術の展開

• 橋口 原

  静岡大学 工学部機械工学科

• 杉山 達彦

  静岡大学 工学部機械工学科

• 年吉 洋

  東京大学 先端科学技術研究センター

書誌事項

タイトル別名

• Development of a new MEMS technology using a potassium ion electret technique
• カリウムイオンエレクトレット オ モチイタ アタラシイ MEMS ギジュツ ノ テンカイ

抄録

半導体微細加工技術で作製されるシリコンを素材とした微小振動素子に，半永久帯電を与えるエレクトレット膜を形成する技術を開発した．この技術は振動子構造作製後，カリウムイオンを導入した酸化膜を表面に形成し，その後550°C程度の温度で振動子電極間に電圧を印加することで帯電させる．そのアプリケーションとして現在開発に注力している環境振動発電素子について説明するとともに，MEMS素子として実現可能となる，双安定アクチュエータや静電トランスなどの新機能素子についても紹介する．

収録刊行物

• 応用物理

  応用物理 87 (6), 436-440, 2018-06-10

  公益社団法人 応用物理学会

詳細情報

• CRID: 1390001277355339648
• NII論文ID: 130007715753
• NII書誌ID: AN00026679
• DOI: 10.11470/oubutsu.87.6_436
• ISSN: 21882290
• ISSN: 03698009
• NDL書誌ID: 029104617
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I029104617
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • CiNii Articles
  • KAKEN
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可