50〜4000eV領域の軟X線平面結像型分光器の開発と電子顕微鏡への応用

• 今園 孝志

  独立行政法人日本原子力研究開発機構 量子ビーム応用研究部門 X線レーザー応用研究グループ

書誌事項

タイトル別名

• Development of a soft X-ray flat-field spectrograph in the 50-4000 eV range and its application to electron microscopes
• 50~4000eV リョウイキ ノ ナンXセン ヘイメン ケツゾウガタ ブンコウキ ノ カイハツ ト デンシ ケンビキョウ エ ノ オウヨウ

抄録

50〜4000eVまでの幅広いエネルギー領域にわたる軟X線発光スペクトルを高効率・高分解能で計測可能な軟X線平面結像型回折格子分光器を開発した．これを電子顕微鏡に搭載することで，機能性物質におけるナノスケール空間領域の構造評価とその化学結合状態分析を同時に実現できる．本稿では本分光器の特徴を述べるとともに，電子プローブマイクロアナライザや透過型電子顕微鏡に搭載して得られた測定例について紹介する．

収録刊行物

• 応用物理

  応用物理 83 (4), 288-292, 2014-04-10

  公益社団法人 応用物理学会

キーワード

• varied-line-spacing holographic grating
• flat-field spectrograph
• multilayer grating
• soft X-ray emission spectroscopy
• chemical bonding state
• electron probe micro-analyzer
• transmission electron microscope

詳細情報

• CRID: 1390001277357368704
• NII論文ID: 130007718497
• NII書誌ID: AN00026679
• DOI: 10.11470/oubutsu.83.4_288
• ISSN: 21882290
• ISSN: 03698009
• NDL書誌ID: 025453691
• Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/025453691
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I025453691
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • CiNii Articles
  • KAKEN
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可