中性子集光用高精度Wolterミラーマンドレルの作製（第8報）

• 荒川 翔平

  大阪大　工学研究科　精密科学・応用物理学専攻

• 山本 有悟

  大阪大　工学研究科　精密科学・応用物理学専攻

• 川合 健太郎

  大阪大　工学研究科　精密科学・応用物理学専攻

• 有馬 健太

  大阪大　工学研究科　精密科学・応用物理学専攻

• 山崎 大

  JAEA　原子力科学研究部門 J-PARCセンター

• 丸山 龍治

  JAEA　原子力科学研究部門 J-PARCセンター

• 林田 洋寿

  総合科学研究機構東海事業センター

• 曽山 和彦

  JAEA　原子力科学研究部門 J-PARCセンター

• 山村 和也

  大阪大　工学研究科　精密科学・応用物理学専攻

書誌事項

タイトル別名

• PCVM加工における試料表面温度の変化を考慮したマンドレルの形状修正

抄録

我々は数値制御プラズマCVMによる中性子顕微鏡用Wolterミラーマンドレルの作製に取り組んでいる．プラズマCVMは化学的な加工法であるため，材料除去率は表面温度に依存する．マンドレルは先細り形状の合成石英棒であるため，プラズマ照射時の温度上昇は先端ほど大きく，材料除去率の上昇分を照射時間で補正する必要がある．本報ではプラズマ照射時間の補正後に，マンドレルを形状修正した結果を報告する．

収録刊行物

• 精密工学会学術講演会講演論文集

  精密工学会学術講演会講演論文集 2020S (0), 389-389, 2020-03-01

  公益社団法人 精密工学会

キーワード

• 中性子
• Wolterミラー
• PCVM
• 合成石英

詳細情報

• CRID: 1390004222625002880
• NII論文ID: 130007896589
• DOI: 10.11522/pscjspe.2020s.0_389
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可