オペランド・ナノX線分光で明らかにする2次元デバイスの表面界面物性と機能発現

• 吹留 博一

  東北大学 電気通信研究所

書誌事項

タイトル別名

• Surface and interface properties of 2D devices revealed by <i>operando</i> X-ray nanospectroscopy
• オペランド ・ ナノ Xセン ブンコウ デ アキラカ ニ スル 2ジゲン デバイス ノ ヒョウメン カイメン ブッセイ ト キノウ ハツゲン

抄録

未知なる感染症および地球環境に関わる諸問題解決と活発な経済活動の両立が，喫緊の課題となっている．その実現には，低環境負荷物質を用いた超高速通信デバイスが不可欠である．その有望候補が，グラフェンをはじめとする2次元原子薄膜（2DM）デバイスである．しかし，表面界面に対する2DM物性の高い敏感性に起因して，2DMデバイス機能の実測値は，物性値から予測される理論値を大きく下回る．そこで，筆者らは，グラフェン・トランジスタをモデル試料として，「動作しているデバイスの表面界面物性を元素選択的にナノスケールで診る」オペランド・ナノX線分光（o-nXS）を開拓し，さらには，ほかの2DMデバイスや界面2次元電子系デバイスの産官学連携研究を展開した．現在，筆者は，o-nXSをナノ表面界面物性を定量可視化してデバイス・回路の機能へ写像し，機能を極限まで引き出す設計に資するものとすべく取り組んでいる．

収録刊行物

• 応用物理

  応用物理 89 (9), 529-533, 2020-09-10

  公益社団法人 応用物理学会

詳細情報

• CRID: 1390285697591868800
• NII論文ID: 130007898688
• NII書誌ID: AN00026679
• DOI: 10.11470/oubutsu.89.9_529
• ISSN: 21882290
• ISSN: 03698009
• NDL書誌ID: 030650964
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I030650964
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可